Flipmodul FM04
Das Flipmodul FM04 ist ein leichtes, elektrisch angetriebenes Schwenkmodul für Wafer-Greifer mit 180° Schwenkbewegung. Ein präzise einstellbarer Endanschlag sowie Soft- und Hardaufschlag in den Endpositionen sorgen für exaktes und schonendes Positionieren.
Das Modul wurde speziell für den Einsatz in der Halbleiter-Wafer-Produktion entwickelt und ist mit einem integrierten Microcontroller für verschiedene Schnittstellenapplikationen ausgestattet.
Über den mitgelieferten Montageadapter (WG-A) können unterschiedliche Wafer-Greifer und Endeffektoren problemlos angebracht werden. Standardisierte Schnittstellen ermöglichen den Signalaustausch mit Robotern, während Montagebohrungen die einfache Integration an SCARA-Robotern gewährleisten – ideal für das Handling von Wafern mit 150–300 mm Durchmesser. Optional lässt sich auf der Rückseite ein Triangulations-Laserscanner zur Wafer-Stapelerkennung integrieren. Anschluss und Signalweiterleitung sind bereits vorbereitet.
Versionen
Technische Daten
Service und Reparaturen wie auch User-Applikationen werden bei uns im Werk ausgeführt.